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采用先进的机器人数控加工为主,结合离子束、抛光机、铣磨机等设备,能够实现大口径、高精度、异形的球面、非球面熔石英反射镜的定制、批量生产。
反射镜口径范围 Reflective mirror diameter range |
φ50mm-600mm | ||||||||||||||||||||||||||||||
反射镜面形 Reflective mirror surface shape |
RMS:优于1/60λ(λ=632.8nm) RMS:Better than 1/60 λ(λ=632.8 nm) |
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表面粗糙度 Surface roughness |
<2nm | ||||||||||||||||||||||||||||||
供货周期 Supply cycle |
2-4个月 2-4 months |
产品示例:
反射镜口径(D) Reflective mirror dameter (D) |
φ450mm | |||||||||||
面型特征 Surface feature |
凹球面 Concave spherical surface |
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轻量化形式 Lightweight form |
无 None |
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周期 Supply cycle |
1.5个月 1.5 months |